超高精CNC 视像测量系统 Quick Vision ULTRA

Quick Vision ULTRA

361 系列 — 超高精CNC 视像测量系统

特点

• 采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到最小。

• 采用分辨率为0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下11 米处的高精密工厂制造。

• 通过使用虚拟零度热膨胀的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到最低。

• 使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。

• 稳定的几何精度(如：每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。

 

ULTRA QUICK VISION 装备有这种分辨率为0.01μm 和

线性膨胀系数为0.08x10-6/k 的水晶玻璃光栅尺。

该虚拟零度热膨胀系数意味着Ultra Quick Vision 可

以将由温度变化产生的影响降到最低。

 

选件

02ALA400: 1X 物镜

02ALA150: 1X 物镜 (SL 型)

02ALA410: 2.5X 物镜

02ALA170: 2.5X 物镜 (SL 型)

02ALA420: 5X 物镜

02AKN020: 校准用标准图

02APS880: 操作杆盒

 

型号	ULTRA QV350-PRO
测量范围X 轴	350mm
Y 轴	350mm
Z 轴	150mm
分辨率	0.01μm
高灵敏度CCD 照相机	黑白
精度*                   E1XY (20° C±0.2° C)       E1Z E2XY	(0.3+L/1000)μm
	(3+2L/1000)μm [(1+2L/1000)μm: 10 - 60mm]
	(0.5+2L/1000)μm
最大驱动速度(X/Y/Z)轴	100mm/sec
照明                      表面 (PRL : 可编程环行灯)      轮廓                                              PRL	卤素灯
	卤素灯
	卤素灯
放大倍率变化系统	可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸	438 x 509mm
最大工件负载	40kg
尺寸 (W x D x H) ***	890 x 1326 x 1650mm
重量***	1320kg

* 测量精度在以下条件下定义

可编程电动转盘：1X，物镜套装：5X

L：任意两点间距离(mm)

** 包括机器台架